I. Hovedbruk og funksjoner av molybden
Molybden er et sølvaktig-hvitt metallisk grunnstoff med utmerkede fysiske og kjemiske egenskaper, noe som gjør det mye brukt på ulike områder. Følgende er de viktigste bruksområdene og funksjonene til molybden:
1. Stålindustri: Molybden dominerer stålindustrien, og står for omtrent 80 % av det totale molybdenforbruket. Det forbedrer stålets styrke, hardhet, slitestyrke og korrosjonsmotstand, noe som resulterer i bedre ytelse og lengre levetid. For eksempel er molybden-holdig rustfritt stål mye brukt i korrosive miljøer som kjemisk og marin industri.
2. Kjemisk industri: Molybdenforbindelser er mye brukt som katalysatorer i den kjemiske industrien. For eksempel kan molybdendisulfid brukes som katalysator for hydroavsvovling og hydrokarbonkrakking, mens molybdenoksid brukes til fremstilling av forskjellige pigmenter og fargestoffer.
3. Elektronikkindustrien: Molybden brukes først og fremst som elektrodemateriale i elektronikkindustrien. På grunn av dens høye-temperaturstabilitet og gode elektriske ledningsevne, er molybdenelektroder mye brukt i elektroniske enheter som elektronrør, transistorer og likerettere. Molybden brukes også til fremstilling av varmeelementer og varmeskjold i vakuumovner.
II. Viktige applikasjonstrinn for molybden i halvlederproduksjon
Med den raske utviklingen av halvlederteknologi har anvendelsen av molybden på dette feltet blitt stadig mer utbredt. Følgende er tre viktige applikasjonstrinn for molybden i halvlederproduksjon:
1. Ioneimplantasjon: I denne prosessen brukes molybden som ionekildemateriale. Ioneimplantasjon er en metode for å introdusere dopingatomer i silisiumskiver, som kan endre waferens ledningsevne. På grunn av dets høye smeltepunkt og utmerkede korrosjonsmotstand, kan molybden motstå reaksjonen av dopinggasser og erosjon av plasma inne i kammeret, og dermed sikre stabiliteten og effektiviteten til ioneimplantasjon.
2. Molekylærstråleepitaksiutstyr: Molekylærstråleepitaksi er en høy-presisjon, høy-kvalitetsteknologi for vekst av halvledermaterialer. I denne prosessen brukes molybden som materiale for ledeplater, substratholdere og andre komponenter i vakuumkammeret. På grunn av sin høye hardhet og flathet, sikrer molybden nøyaktigheten og konsistensen til halvlederkrystallstrukturen.
3. Fotolitografimasker: Under fotolitografiprosessen brukes et materiale som en maske for å beskytte visse områder på silisiumplaten mot fotoresisten. Molybdenfolie er mye brukt som fotolitografisk maskemateriale på grunn av sin høye presisjon, høye repeterbarhet og utmerket korrosjonsbestandighet.
